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紅外檢測(cè)晶圓雜質(zhì)

2022-12-19 11:04:13
紅外檢測(cè)晶圓雜質(zhì)
詳細(xì)介紹:

樣品:晶圓

檢測(cè)要求:內(nèi)部雜質(zhì)

方案:因?yàn)殡s質(zhì)在晶圓內(nèi)部,無法通過可見光在表面識(shí)別,需通過紅外透過晶圓成像檢測(cè)

設(shè)備圖片:

IMG_20221013_130245.jpg

效果圖片:

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