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自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12

自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12

  • 所屬分類:工業(yè)光學顯微鏡
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發(fā)布日期:2024-05-22 08:54:16
  • 產品概述
  • 技術規(guī)格

AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。


人機工程學設計,操作方便

可以自由設置的檢查模式,在設計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設備的操作簡便性。

分別對應FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機型。


堅固、可靠和安全傳送

延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。

薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。

宏觀觀察位置的優(yōu)化和操作單元的集中排列,提高了設備的操作舒適性。


自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12 規(guī)格

AL120-LMB12-LP3AL120-LMB12-F
晶圓尺寸300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm
卡盒●FOUP(Front Opening Unified Pods)前開門標準夾
●SEMI:E47.1-0200規(guī)格產品
●FIMS-FOSB, FOSB
●FOSB(Front Opening Shipping Box)前開門搬運盒
●SEMI:M31-0999規(guī)格產品
卡盒數(shù)單盒(裝載、卸載兼用)
卡盒設置高度900 mm
裝載端口
搬運順序表面宏、內面宏、顯微鏡檢查
檢查模式全部檢查、抽樣檢查
晶圓校準非接觸式中心環(huán)
晶圓搬運方式真空吸附機械搬運
適用顯微鏡半導體檢查顯微鏡MX61L
應用環(huán)境AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz
真空-67~-80 Kpa
壓縮空氣0.5MPa~0.6MPa
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz
真空-67~-80 Kpa
載物臺XY手動吸附載物臺,有XY粗調/微調和360度旋轉機構
重量(不包括顯微鏡)約360 kg約270 kg

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