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晶圓搬送機(jī) AL120

晶圓搬送機(jī) AL120

  • 所屬分類:工業(yè)光學(xué)顯微鏡
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發(fā)布日期:2024-05-22 08:54:06
  • 產(chǎn)品概述
  • 技術(shù)規(guī)格

適應(yīng)范圍廣、搭配靈活

對(duì)應(yīng)多種尺寸組合

我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對(duì)應(yīng)小于150 mm的晶圓)的3種型號(hào)。除此以外,您還可以根據(jù)檢查模式,選用微觀檢查專用型號(hào)"L型"或微觀?宏觀檢查兼用型號(hào)"LMB型"。


薄片檢查

對(duì)應(yīng)薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計(jì)可以搬運(yùn)整盒25枚90 μm的薄晶圓。


高度實(shí)用性

進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀檢查

晶圓搬送機(jī)


操作便捷

為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,AL120可以登記多達(dá)10個(gè)檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度。快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。

晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會(huì)在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時(shí)登記的有缺陷的對(duì)應(yīng)SLOT,便于操作者再次確認(rèn)。

AL120使用非接觸光學(xué)定位、查找和對(duì)齊缺口/平面,可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。


高度可靠性

優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全

為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計(jì)。

在安全性和人機(jī)工學(xué)上通過(guò)了SEMI S2/S8檢測(cè),同時(shí),在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。


堅(jiān)固、耐用的顯微鏡底座

AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過(guò)各種觀測(cè)方法,包括:明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實(shí)現(xiàn)了卓越的圖像分辨率和清晰度。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優(yōu)化各物鏡的照明和對(duì)比度。如果特別訂制,AL120還可以應(yīng)用到其他型號(hào)的顯微鏡上。


人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)的載物臺(tái)

手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可以提高操作員的舒適度和工作效率,標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。

可通過(guò)操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動(dòng)載物臺(tái),進(jìn)一步將檢查過(guò)程自動(dòng)化。只需一鍵便可驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)返回或離開(kāi)load/unload位置及原點(diǎn)位置。


晶圓搬送機(jī) AL120 規(guī)格

200 mm專用型200 mm/150 mm 兼用型150 mm型
AL120-
LMB8-
90
AL120-
LMB86-
180
AL120-
L86-
180
AL120-
LMB86
AL120-
L86
AL120-
LMB6-
150
AL120-
L6-
150
晶圓尺寸(SEMI規(guī)格)200mm200mm / 150mm150mm /
125mm /
100mm
晶圓最小厚度90μm180μm400μm150μm
片盒類型*SEMI規(guī)格:25(26)個(gè)slot
片盒數(shù)1
檢查模式全部檢查/抽樣檢查
搬運(yùn)順序微觀檢查(顯微鏡檢查)
表面宏觀檢查


背面宏觀檢查


二次背面宏觀檢查


晶圓定位(每 90o)非接觸(定位平邊/V型槽)非接觸(定位平邊)
適配顯微鏡型號(hào)奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61
尺寸(mm)主機(jī)部分:640 (W) × 620 (D) × 378 (H),配備顯微鏡時(shí):1100 (W) × 620 (D) × 378 (H)主機(jī)部分:570 (W) × 620 (D) × 400 (H),配備顯微鏡時(shí):980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
重量(kg)(僅主機(jī)部分)44444144414037
使用環(huán)境(電源/真空)AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上

* 最多可登記10種片盒


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