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上海工具測(cè)量顯微鏡 STM7

上海工具測(cè)量顯微鏡 STM7

  • 所屬分類:上海工業(yè)光學(xué)顯微鏡
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發(fā)布日期:2024-05-22 10:05:28
  • 產(chǎn)品概述
  • 技術(shù)規(guī)格

可按照個(gè)人需求進(jìn)行測(cè)量的

顯微鏡

無(wú)論樣品大小、簡(jiǎn)單還是復(fù)雜,或執(zhí)行測(cè)量的人員經(jīng)驗(yàn)如何,奧林巴斯STM7系列可提供符合您需求的測(cè)量顯微鏡。


優(yōu)異的光學(xué)性能

STM7系列采用了當(dāng)前先進(jìn)光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。

因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,像差也被完全消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。


花崗巖精制而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性

為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度,STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平,并大大降低誤差。

工具測(cè)量顯微鏡STM7


奧林巴斯STM7


簡(jiǎn)單易用的高精度3軸測(cè)量

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測(cè)量也日趨重要 — 不僅是XY軸平面的測(cè)量,Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。為此,奧林巴斯開(kāi)發(fā)了采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)。

奧林巴斯STM7



嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精度,此外,在安裝系統(tǒng)時(shí),奧林巴斯還提供可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

由Olympus Corporation測(cè)試與分析中心頒發(fā)并由ILAC-MRA校準(zhǔn)認(rèn)證機(jī)構(gòu)(JCSS、JAB)認(rèn)證的校準(zhǔn)證書(shū)。

可追溯系統(tǒng)因不同時(shí)期和國(guó)家/地區(qū)而異。STM7校準(zhǔn)中使用的樣品已在各個(gè)國(guó)家/地區(qū)進(jìn)行了校準(zhǔn)。詳情請(qǐng)咨詢奧林巴斯。


可靠的模塊化系統(tǒng)

五種配置讓您可以靈活選擇所需功能。

奧林巴斯顯微鏡STM7奧林巴斯顯微鏡觀察方法

BF:明場(chǎng)

DF:暗場(chǎng)

DIC:微分干涉對(duì)比度

POL:偏振光

選件:選件


適合您的樣品的載物臺(tái)

常見(jiàn)問(wèn)題

短測(cè)量行程無(wú)法滿足較大樣品的測(cè)量需求{? 由于X軸測(cè)量區(qū)域短于Y軸測(cè)量區(qū)域,因此必須旋轉(zhuǎn)樣品

由于可測(cè)量的范圍窄,無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上,以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量


STM7解決方案

STM7提供300 mm x 300 mm載物臺(tái),能夠測(cè)量較大的樣品,包括300 mm晶圓和印刷電路板。

X軸和Y軸測(cè)量區(qū)域長(zhǎng)度相等,因此無(wú)需旋轉(zhuǎn)樣品

較長(zhǎng)的X軸和Y軸測(cè)量區(qū)域允許在載物臺(tái)上排列多個(gè)樣品,實(shí)現(xiàn)更高效的測(cè)量


z大測(cè)量行程300 mm x 300 mm

提供三款具有不同測(cè)量行程的載物臺(tái)供選擇:100 mm x 100 mm、200 mm x 200 mm和300 mm x 300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺(tái)適合您的應(yīng)用。

奧林巴斯顯微鏡STM7


更多倍率選擇和長(zhǎng)工作距離

常見(jiàn)問(wèn)題

大多數(shù)傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡只能使用測(cè)量物鏡或金相物鏡,無(wú)法同時(shí)滿足多種觀察要求


STM7解決方案

STM7可滿足多種觀察要求。它不僅允許您根據(jù)自身的需求進(jìn)行低倍率和高倍率觀察、測(cè)量需要超長(zhǎng)工作距離物鏡的不均勻樣品,甚至還能提供各種觀察方法

奧林巴斯顯微鏡


突破性的控制單元改進(jìn)了可用性

常見(jiàn)問(wèn)題

增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作員可能無(wú)法快速找到相應(yīng)的操作單元,這顯著降低了測(cè)量效率

操作單元過(guò)多及其分布在主機(jī)周圍的電源會(huì)占用寶貴的工作空間


STM7解決方案

幾乎所有測(cè)量顯微鏡操作都可以在最近的操作單元上高效完成

無(wú)論添加多少功能,系統(tǒng)只需要使用單一操作單元和電源,從而釋放了工作空間

奧林巴斯STM7


控制箱

各個(gè)單元的電源和通信都集成在單一控制箱中。即使是添加一些可選功能(如聚焦導(dǎo)航器等)也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設(shè)計(jì)可以大大減少了對(duì)工作空間的占用。


手動(dòng)和電動(dòng)調(diào)焦選項(xiàng)

提供手動(dòng)和電動(dòng)調(diào)焦控制選項(xiàng)。您可以根據(jù)樣品和測(cè)量?jī)?nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型,而不需要考慮載物臺(tái)的尺寸 — 所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺,可進(jìn)行3軸測(cè)量。

奧林巴斯顯微鏡


自動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié)提高效率

常見(jiàn)問(wèn)題

傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬量調(diào)節(jié)無(wú)法實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量評(píng)估,這可能導(dǎo)致測(cè)量值隨光強(qiáng)的變化而變化

使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí),每次切換物鏡后可能都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng),從而導(dǎo)致工作流程效率低下


STM7解決方案

由于顯微鏡提供光強(qiáng)值的定量顯示,因此始終能在相同的條件下進(jìn)行觀察和測(cè)量

將光強(qiáng)度管理器與編碼物鏡轉(zhuǎn)換器搭配使用時(shí),切換物鏡后,照明方法和光強(qiáng)會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)為預(yù)設(shè)值

奧林巴斯顯微鏡STM7



使用可拆卸數(shù)顯表快速檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)

常見(jiàn)問(wèn)題

因需要檢查設(shè)備運(yùn)行狀況(如照明)或查看不同單元上的測(cè)量值,這使得整體操作非常繁瑣


STM7解決方案

STM7系列通過(guò)單獨(dú)的指示器顯示區(qū)顯示顯微鏡狀態(tài)(如照明)和測(cè)量值,有助于用戶輕松完成所有檢查

奧林巴斯顯微鏡STM7

奧林巴斯顯微鏡STM7

STM7規(guī)格(手動(dòng)型號(hào))


手動(dòng)型號(hào)

小型載物臺(tái)中型載物臺(tái)大型載物臺(tái)
顯微鏡主體
STM7-SFSTM7-MFSTM7-LF
聚焦垂直移動(dòng)范圍175 mm145 mm
最大測(cè)量高度120 mm(使用測(cè)量物鏡)
175 mm(使用金相物鏡)
90 mm(使用測(cè)量物鏡)
145 mm(使用金相物鏡)*1
Z軸測(cè)量分辨率0.1 um
Z軸驅(qū)動(dòng)方法手動(dòng)同軸微調(diào)焦/粗調(diào)焦旋鈕
照明LED 照明白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明
觀察鏡筒MM6-ETR正像三目鏡筒(100:0/0:100)
目鏡(F.N.22)MM6-OCC10X(帶十字線)、MM6-OC10X
物鏡BF(明場(chǎng))MM6C-KMAS
照明
U-5RES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金相物鏡
BF(明場(chǎng))/DF(暗場(chǎng))MM6C-RLAS
照明
U-D5BDRES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金相物鏡
LED 裝置白色(反射)MM6-ILW
綠色(透射)MM6-ILG
載物臺(tái)
STM7-CS100STM7-CS200STM7-CS300
測(cè)量范圍X軸100 mm,Y軸100 mmX軸200 mm,Y軸200 mmX軸300 mm,Y軸300 mm
測(cè)量精度
(L:測(cè)量長(zhǎng)度)
(3+2L/100) μm(3+4L/200) μm(3+6L/300) μm
精度保證重量6 kg10 kg15 kg
計(jì)數(shù)器
STM7-DI
軸數(shù)三軸
單位毫米/微米/英寸/密耳
最低分辨率0.1 um
控制箱STM7-CB
手控開(kāi)關(guān)STM7-HS
聚焦控制器
接口線纜
防振基座STM7-VI
電源線纜UYCP
尺寸(寬x深x高)mm466 x 583 x 651606 x 762 x 651804 x 1024 x 686
重量(kg)84 kg152 kg277 kg
功耗100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí),可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

物鏡工作距離

物鏡1X3X5X10X20X50X100X
測(cè)量物鏡MM6-OB系列59.676.865.450.5
金相物鏡MPLFLN系列明場(chǎng)20.011.03.11.01.0
LMPLFLN系列長(zhǎng)工作距離22.521.012.010.63.4
MPLFLN-BD系列明場(chǎng)/暗場(chǎng)12.06.53.01.01.0
LMPLFLN-BD系列明場(chǎng)/暗場(chǎng),長(zhǎng)工作距離15.010.012.010.63.3

STM7-BSW系統(tǒng)要求

項(xiàng)目
CPU對(duì)于STM7-CU相機(jī),需要Intel Core i3處理器3 GHz或更高;對(duì)于DP23/DP28相機(jī),需要Intel Core i5或同等或更高級(jí)別處理器
內(nèi)存對(duì)于STM7-CU相機(jī),為4 GB或更高;對(duì)于DP23/DP28相機(jī),至少需要8 GB,建議16 GB
硬盤(pán)可用空間安裝需要100 GB或更大硬盤(pán)空間,建議使用SSD硬盤(pán)以實(shí)現(xiàn)高速圖像采集
顯卡支持分辨率1980 x 1080和32位色的顯卡
驅(qū)動(dòng)器DVD驅(qū)動(dòng)器
PC輸入設(shè)備2鍵鼠標(biāo)(建議使用帶滾輪的3鍵鼠標(biāo))、鍵盤(pán)
操作系統(tǒng)Microsoft Windows 10 Pro/Pro for Workstations(64位)
網(wǎng)絡(luò)瀏覽器Internet Explorer 11
* 還支持32位和64位Microsoft Office 2013/2016/2019/2021/365 (SAC)。

STM7規(guī)格(電動(dòng)型號(hào))


電動(dòng)型號(hào)

中型載物臺(tái)大型載物臺(tái)
顯微鏡主體
STM7-MFASTM7-LFA
聚焦垂直移動(dòng)范圍175 mm145 mm
最大測(cè)量高度120 mm(使用測(cè)量物鏡)
175 mm(使用金相物鏡)
90 mm(使用測(cè)量物鏡)
145 mm(使用金相物鏡)*1
Z軸測(cè)量分辨率0.1 um
Z軸驅(qū)動(dòng)方法電動(dòng)
  • 聚焦按鈕:粗調(diào)移動(dòng)速度8 mm/s(最大值)

  • 微調(diào)焦/粗調(diào)焦旋鈕:微調(diào)焦速度有4檔可供選擇(800 μm、400 μm、100 μm、50 μm)

照明LED 照明白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明
觀察鏡筒MM6-ETR正像三目鏡筒(100:0/0:100)
目鏡(F.N.22)MM6-OCC10X(帶十字線)、MM6-OC10X
物鏡BF(明場(chǎng))MM6C-KMAS
照明
U-5RES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金相物鏡
BF(明場(chǎng))/DF(暗場(chǎng))MM6C-RLAS
照明
U-D5BDRES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金相物鏡
LED 裝置白色(反射)MM6-ILW
綠色(透射)MM6-ILG
載物臺(tái)
STM7-CS200STM7-CS300
測(cè)量范圍X軸200 mm,Y軸200 mmX軸300 mm,Y軸300 mm
測(cè)量精度
(L:測(cè)量長(zhǎng)度)
(3+4L/200) μm(3+6L/300) μm
精度保證重量10 kg15 kg
計(jì)數(shù)器
STM7-DI
軸數(shù)三軸
單位毫米/微米/英寸/密耳
最低分辨率0.1 um
控制箱STM7-CBA
手控開(kāi)關(guān)
聚焦控制器STM7-MCZ
接口線纜U-IFCBL200U-IFCBL200
防振基座STM7-VI
電源線纜UYCP
尺寸(寬x深x高)mm606 x 762 x 811804 x 1024 x 844
重量(kg)159 kg284 kg
功耗00-120/220-240V  50/60Hz 0.6A/0.35A100-120/220-240V  50/60Hz 0.6A/0.35A

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí),可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

選件

物鏡測(cè)量物鏡MM6-OB系列
(1X /3X /5X /10X)
聚焦導(dǎo)航器聚焦導(dǎo)航器裝置STM7-FN
綠光LED裝置MM6-ILG
自動(dòng)聚焦自動(dòng)對(duì)焦單元STM7-AF
微分干涉對(duì)比度用于反射光的U-DICR DIC插槽U-DICR
軟件/相機(jī)*1測(cè)量支持軟件STM7-BSW
相機(jī)低端數(shù)碼相機(jī)STM7-CU
中端數(shù)碼相機(jī)DP23-CU
高端數(shù)碼相機(jī)DP28-CU
TV適配器帶0.5倍鏡頭的C型相機(jī)接口觀察筒U-TV0.5XC-3
帶0.35倍鏡頭的C型相機(jī)接口觀察筒U-TV0/35XC-2
可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)行程100 x 100 mmSTM7-RS100
行程200 x 200 mmSTM7-RS200
行程300 x 300 mmSTM7-RS300
ND濾鏡ND濾鏡(透射率6%)U-25ND6
ND濾鏡(透射率25%)U-25ND25
微分干涉對(duì)比度微分干涉對(duì)比度/偏振鏡U-PO3
微分干涉對(duì)比度/檢偏鏡U-AN360-3
軟件MIA、EFI(可選軟件)STM7-ASW-ME
腳踏開(kāi)關(guān)STM7-FS
電源裝置MM6-ILPS-2
載物臺(tái)測(cè)微計(jì)OB-M/OB-MM

*1 支持的相機(jī)因STM7-BSW版本而異。
1.3.3版或更早版本:STM7-CU
1.4.1版或更新版本:DP23/DP28


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