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FLY-MX12顯微鏡光學技術在亮度 、對比度和可操作性方面達到z新高度， 適合晶圓或者顯示面板的高級檢查
FLY-MX12(落射照明型)
z大樣品尺寸： ?300mm晶片
載物臺行程：350 × 300mm
放大倍率：50X - 1000X
(依目鏡和物鏡而定)
高對比度，幾乎無雜光
為z大程度地減少雜光現(xiàn)象,物鏡涂有特殊涂層,其表面具有抗雜散光的性能。另外,目鏡筒內部的反射次數(shù) 也減少了,進一步減小了出現(xiàn)雜光的可能性，同時獲得了前所未有的高對比度。
半復消色差物鏡
富萊半復消色差物鏡實現(xiàn)了自然色彩高度再現(xiàn)，高透過率鏡片和先進的鍍膜技術保證獲得高清晰圖像
半復消色差物鏡
富萊半復消色差物鏡實現(xiàn)了自然色彩高度再現(xiàn)，高透過率鏡片和先進的鍍膜技術保證獲得高清晰圖像
調節(jié)手輪集中在機身前部
主要調節(jié)手輪和按鈕均位于底座前部， 在觀察樣品的同時可進行快速、 方便的操作，長時間觀察能z大程度地減輕疲勞。
防靜電能力更強
機身、載物臺、目鏡筒和各調節(jié)手輪均涂有消靜電涂層，提高了抗污染能力，防止樣品因靜電感應而受損，從而提高成品率。
諾瑪斯基DIC觀察法（選配）
采用單棱鏡(Senarmont)系統(tǒng)，只 需在物鏡轉換器插入一個諾瑪斯基棱鏡， 即可以 任一倍率進行DIC觀察。即使進行低倍率觀察， DIC圖像也同樣清晰而鮮明， 幾乎沒有色陰影。 高對比度型DIC滑塊能以更高的靈敏度形成DIC 圖像。
X-Y微調操作手輪
X-Y微調操作手輪的固定位置*， 位于接近操作員之處， 這一特 性使操作員不必伸長手臂移動載物臺。樣品移動和對焦可由單 手在桌面上的完成，使操作員得以將注意力集中在樣品觀察上。
明場觀察
無限遠光學技術產(chǎn)生高亮度、高對比度的圖像。
暗場觀察
新開發(fā)的暗場照明光學技術極大地提高了圖像亮 度，增強了檢測樣品的微小劃痕和形態(tài)的能力。
配置 | |
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
光學放大倍數(shù) | 50倍-1000倍 |
落射照明器 | 進口明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調 |
三目頭 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0 |
目鏡 | 高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調 |
物鏡 | 5倍明暗場半復消色差物鏡 NA：0.15 WD：15mm |
10倍明暗場半復消色差物鏡 NA：0.3 WD：8.4mm | |
20倍明暗場半復消色差物鏡 NA：0.40 WD：11.9mm | |
50倍明暗場半復消色差物鏡 NA：0.75 WD：3mm | |
100倍明暗場半復消色差物鏡 NA：0.9 WD：1mm | |
調焦機構 | 低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程32mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統(tǒng)。 |
載物臺 | 14*12英寸載物臺，X、Y方向同軸調節(jié)；含快速移動裝置 有效移動行程：356X305mm 透射光照明區(qū)域：356X284mm |
機架 | 反射型機架，選配透射光源 |
燈箱 | LED長壽命光源 |
相機 | 富萊630萬彩色相機 |
軟件 | 富萊顯微圖像軟件 |
選配 | 長工作距離物鏡、偏光、微分干涉、紅外功能等功能 |
外觀尺寸/重量 | 640*701*650mm(長*寬*高) / 約65KG |
400-828-6080
