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從380nm~1050nm的可視光至近紅外實現(xiàn)大范圍波長區(qū)域中的分光測定
奧林巴斯的近紅外顯微分光測定儀USPM-RU-W可以高速&高精細地進行可視光區(qū)域至近紅外區(qū)域的大范圍波長的分光測定。由于其可以很容易地測定通常的分光光度計所不能測定的細微區(qū)域、曲面的反射率,因此十分適用于光學(xué)元件與微小的電子部件等產(chǎn)品。
實的測定功能
使用一臺即可進行反射率、膜厚、物體顏色、透過率、入射角45度反射率的各種分光測定。
測定反射率
測定以物鏡聚光的Φ17~70μm的微小點的反射率。
測定膜厚
活用反射率數(shù)據(jù),測定約50nm~約10μm的單層膜、多層膜的膜厚。
測定物體顏色
根據(jù)反射率數(shù)據(jù)顯示XY色度圖、L*a*b*色度圖及相關(guān)數(shù)值。
測定透過率 (選配)
從受臺下部透過?2mm的平行光,測定平面樣品的透過率。
測定入射角為45度的反射率(選配)
從側(cè)面向45度面反射?2mm的平行光,測定其反射率。
域的高精度&高速測定
實現(xiàn)高速測定
使用平面光柵及線傳感器進行全波長同時分光測定,從而實現(xiàn)高速測定。
十分適用于測定細小部件、鏡片的反射率
新設(shè)計了可以在?17~70μm的測定區(qū)域中進行非接觸測定的專用物鏡。通常的分光光度計不能進行測定的細小電子部件或鏡片等的曲面,也可以實現(xiàn)再現(xiàn)性很高的測定。
測定反射率時,不需要背面防反射處理
將專用物鏡與環(huán)形照明組合,不需要進行被檢測物背面的防反射處理,就可測定最薄0.2mm的反射率*。*使用40×物鏡時,在本公司的測定條件下進行測定。
可選擇的膜厚測定方法
根據(jù)測定的分光反射率數(shù)據(jù)進行單層膜或多層膜的膜厚解析??梢愿鶕?jù)用途選擇z佳的測定方法。
峰谷法
這是一種根據(jù)測定的分光反射率值的峰值與低谷的周期性計算出膜厚的方法,對于測定單層膜是有效的。不需要復(fù)雜的設(shè)置,可以簡單地求出。
傅里葉轉(zhuǎn)換法
這是一種根據(jù)測定的分光反射率值的周期性計算膜厚的方法,對于單層膜及多層膜的測定有效。難以檢測出峰值及低谷等時,可以幾乎不受噪音的影響進行解析。
曲線調(diào)整法
這是一種通過推算測定的分光反射率值與根據(jù)某種膜構(gòu)造計算的反射率的差達到最小的構(gòu)造計算出膜厚的方法,對于單層膜及多層膜的測定有效。還可以進行不會出現(xiàn)峰值及低谷的薄膜解析。
多樣化應(yīng)用
高速、高精度地應(yīng)對多樣化測定需求。
通過測定球面、非球面的鏡片、濾鏡、反射鏡等光學(xué)元件的反射率,進行涂層評價、物體顏色測定、膜厚測定。
數(shù)碼相機鏡片
投影儀鏡片
光讀取頭鏡片
眼鏡片
適用于LED反射鏡、半導(dǎo)體基板等微小電子部件的反射率測定、膜厚測定。
LED包裝
半導(dǎo)體基板
適用于平面光學(xué)元件、彩色濾鏡、光學(xué)薄膜等的反射率測定、膜厚測定、透過率測定。
液晶彩色濾鏡
光學(xué)薄膜
適用于棱鏡、反射鏡等45度入射產(chǎn)生的反射率測定。
棱鏡
反射鏡
反射率測定 | 透過率測定*1 | 45度反射測定*1 | |||
名稱 | 近紅外顯微分光測定儀 | 近紅外顯微分光測定儀用 透過測定選配件 | 近紅外顯微分光測定儀用 45度反射測定選配件 | ||
型號 | USPM-RU-W | ||||
測定波長 | 380~1050nm | ||||
測定方法 | 對參照樣品的比較測定 | 對100%基準的透過率測定 | 對參照樣品的比較測定 | ||
測定范圍 | 參照下列對物鏡的規(guī)格 | 約?2.0mm | |||
測定 再現(xiàn)性(3σ)*2 | 反射率測定 | 使用10×、20×物鏡時 | ±0.02[%]以下(430-1010nm)、 ±0.2[%]以下(上述以外) | ±1.25[%]以下(430-1010nm)、 ±5.0[%]以下(左側(cè)記載除外) | |
使用40×物鏡時 | ±0.05[%]以下(430-950nm)、 ±0.5[%]以下(上述以外) | ||||
厚膜測定 | ±1% | - | |||
波長顯示分解能 | 1nm | ||||
照明附件 | 專用鹵素?zé)艄庠础?JC12V 55W(平均壽命700h) | ||||
位移受臺 | 承載面尺寸:200(W)×200(D)mm 承重:3 kg 工作范圍:(XY) ±40mm, (Z)125mm | ||||
傾斜受臺 | - | 承載面尺寸: 140(W)×140(D)mm 承重: 1 kg 工作范圍:(XT) ±1°, (YT) ±1° | |||
裝置質(zhì)量 | 主體:約26 kg(PC除外) | 主體:約31 kg(PC除外)*3 | |||
控制電源箱:約6.7kg | |||||
裝置尺寸 | 主體部位:360(W)×446(D)×606(H)mm | 主體部位:360(W)×631(D)×606(H)mm | |||
控制電源箱:250(W)×270(D)×125(H)mm | |||||
電源規(guī)格 | 輸入規(guī)格:100-240V (110VA) 50/60Hz | ||||
使用環(huán)境 | 水平無振動的場所 溫度:15~30℃ 濕度:15~60%RH(無結(jié)露) | ||||
*1 選件組件 *2 本社測定條件下的測定 *3 裝配透過率測定套件與45度反射測定套件的總重量為33kg。
型號 | USPM-OBL10X | USPM-OBL20X | USPM-OBL40X |
倍率 | 10x | 20x | 40x |
NA | 0.12 | 0.24 | 0.24 |
測定范圍*4 | 70μm | 34μm | 17μm |
工作距離 | 14.3mm | 4.2mm | 2.2mm |
樣品的曲率半徑 | ±5mm~ | ±1mm~ | ±1mm~ |
*4 點徑
400-828-6080