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尼康晶圓,NWL200系列
功能齊全的NWL200機型支持通過光學(xué)顯微鏡或圖像測量儀(如Nikon NEXIV),對直徑為6英寸(150mm)和8英寸(200mm)的半導(dǎo)體晶圓的創(chuàng)新設(shè)計和材料進行全方位檢測。
復(fù)雜、可靠的裝載機處理各種晶圓
超強的半導(dǎo)體晶圓裝載機系列,能夠?qū)⒅睆綖?英寸(150mm)和8英寸(200mm)的晶圓轉(zhuǎn)移到厚度為100微米(工廠制造選項)的尼康Eclipse L200N和LV150N顯微鏡或NEXIV VMZ-S視頻測量儀器上。
產(chǎn)品亮點
半導(dǎo)體生產(chǎn)中的高可靠性
例如,當(dāng)電源意外中斷時,宏支臂的真空卡盤保持激活狀態(tài),允許安全取出晶圓。
宏觀檢查功能
支持半導(dǎo)體晶圓前圖案側(cè)、后周邊和中心區(qū)域檢測??勺詣踊蚴謩釉O(shè)置晶圓旋轉(zhuǎn)速度和傾斜角度。
專為zui大產(chǎn)量而設(shè)計
帶有非接觸式定心機構(gòu)的快速晶圓盒升降器可使用多支臂系統(tǒng)jing確快速對齊晶圓,以zui高精度裝載和卸載晶圓。
人體工程學(xué)設(shè)計理念
NWL200符合人體工程學(xué)設(shè)計,易于操作和控制。
向左轉(zhuǎn)35度時,輕松進行晶圓入槽定位和全盒交換。
核心功能
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